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技術資料

等離子體處理時溫度會不會破壞樣品本身

等離子體是物質的第四態，在氣體狀態接受足夠的能量即可變為等離子體態
是由帶電粒子（包括離子、電子、離子團）和中性粒子組成的系統。具體地講，等離子體就是一種特殊的電離氣體。需要有足夠的電離度的電離氣體才具有等離子體性質 ( 電離度 >10-4 )。

 

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