除了在已存在的等離子體以外,用人工方法在一定范圍內也可以制得等離子體。最早是在1927年,當水銀蒸氣在高壓電場中的放電時由科研人員發現等離子體。后面的發現是通過多種形式,如電弧放電、輝光放電、激光、火焰或者沖擊波等,都可以使處于低氣壓狀態的氣體物質轉變成等離子體狀態。
如在高頻電場中處于低氣壓狀態的氧氣、氮氣、甲烷、水蒸氣等氣體分子在輝光放電的情況下,可以分解出加速運動的原子和分子,這樣產生的電子和解離成點有正、負電荷的原子和分子。這樣產生的電子在電場中加速時會獲得高能量,并與周圍的分子或原子發生碰撞,結果使分子和原子中又激發出電子,而本身又處于激發狀態或離子狀態,這時物質存在的狀態即為等離子體狀態。
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