等離子體表面處理在光學儀器的應用

   光學鏡片的鍍膜技術是整個光學系統(tǒng)的一個重要組成部分，良好的鍍膜技術能改善鏡片的折射率、阿貝數(shù)、散射、衍射和化學性能。光學薄膜真空鍍膜技術一般采用物理氣相沉積（PVD）技術，包括熱蒸發(fā)、濺射、離子鍍等方法。而在鍍膜前的光學鏡片一般須經(jīng)過離心力清洗機和超聲波清洗機清洗，但若想要得到超潔凈的基體表面，則需進一步的采用等離子體清洗，不僅能去除表面經(jīng)離心力清洗和超聲波清洗后的有機殘留物，還能對于后道鍍膜技術起到積極作用。

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