等離子體表面處理在光伏行業的應用

金屬氧化物的祛除

化學清洗:表面反應以化學反應為主的等離子體清洗，又稱PE。

例：O2＋e－→ 2O※ +e－     O※＋有機物→CO2+H2O

從反應式可見，氧等離子體通過化學反應可使非揮發性有機物變成易揮發的H2O和CO2。

例：H2+e-→2H※+e-      H※+非揮發性金屬氧化物→金屬＋H2O

從反應式可見，氫等離子體通過化學反應可以去除金屬表面氧化層，清潔金屬表面。

物理清洗：表面反應以物理反應為主的等離子體清洗，也叫濺射腐蝕（SPE）。

例：Ar＋e-→Ar++2e-       Ar++沾污→揮發性沾污

Ar+在自偏壓或外加偏壓作用下被加速產生動能，然后轟擊被清洗工件表面，一般用于去除氧化物、環氧樹脂溢出或是微顆粒污染物，同時進行表面能活化。

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